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new sf6 reaction in SINGAPORE

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Q & A - SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 Translate this page2 days ago· SiO2 etch에서 SF6대비 NF3의 ER이 크고, NF3+O2 경우 ER에 향상을 가져온 이유에 대해서 제 견해를 말씀드립니다. 일단 Si의 etch 는 SiF4가 만들어지면서 진행이 됩니다. 따라서 F의 수가 중요하고 반응에너지 공급이 중요할 것 입니다.

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